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特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

供氣系統(tǒng)的選擇

常規(guī)供氣系統(tǒng)

常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，廈門特種氣體，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節(jié)省投資。

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器，特種氣體多少錢，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測，遠(yuǎn)程緊急切斷；專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取?/p>

       

特種氣體存放

針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設(shè)計(jì)將鋼瓶置于特氣柜內(nèi)，再通過管道將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場附近的閥門箱，而后再進(jìn)入制程機(jī)臺(tái)的使用點(diǎn)，特種氣體廠家，于進(jìn)入機(jī)臺(tái)腔體之前，會(huì)有獨(dú)立的氣體控制盤與制程控制模塊聯(lián)機(jī)，以質(zhì)流流量計(jì)控制器進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制，通常此氣體控制盤不屬于廠務(wù)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)范疇，而是歸屬制程機(jī)臺(tái)設(shè)備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥門盤進(jìn)行供應(yīng)。

特種氣體:高純氯1氣

高純氯1氣制取方法

高純氯的生產(chǎn)方法仍以工業(yè)氯為原料，吸附凈化。工業(yè)液1氯中的雜質(zhì)含量較多，欲制得高純氯必須把原料氯中的H2O、O2、N2、CO2、CO、H2、CH4等除去，特種氣體生產(chǎn)廠家，除H2O外其余雜質(zhì)的沸點(diǎn)均低于氯，故用物理吸附法除去H2O和CO2；冷凝分離法除去O2、N2、H2、CO、CH4等。但氯不僅劇1毒，且具有強(qiáng)氧化、強(qiáng)腐蝕的異常活潑的化學(xué)性質(zhì)，除少數(shù)稀有氣體外，幾乎能與所有元素形成化合物。因此要篩選不受氯腐蝕、不與氯起化學(xué)反應(yīng)的干燥劑、吸附劑，以及這些吸附劑的化學(xué)處理、再生等。

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